持仓明细
                - 股票名称价格占净值比例较上期
 
                    - 北方华创
002371---14.83%新增 
                    - 中微公司
688012---14.65%新增 
                    - 沪硅产业
688126---5.78%新增 
                    - 华海清科
688120---5.24%新增 
                    - 南大光电
300346---4.10%新增 
                    - 拓荆科技
688072---4.03%新增 
                    - 长川科技
300604---3.71%新增 
                    - 中科飞测
688361---3.53%新增 
                    - 安集科技
688019---3.35%新增 
                    - 芯源微
688037---3.23%新增 
                    
            - 股票名称持股数(万股)占净值比例较上期
 
                        - 北方华创
0023716.6816.35%-28.25% 
                        - 中微公司
68801212.3713.42%-28.56% 
                        - 沪硅产业
68812651.455.62%-27.66% 
                        - 华海清科
6881204.374.26%-28.62% 
                        - 拓荆科技
6880724.283.97%-28.72% 
                        - 南大光电
30034617.743.80%-28.61% 
                        - 长川科技
30060413.523.32%-28.58% 
                        - 鼎龙股份
30005419.653.30%-28.57% 
                        - 雅克科技
0024098.803.21%100.00% 
                        - 芯源微
6880375.152.98%100.00% 
                        
            - 股票名称持股数(万股)占净值比例较上期
 
                        - 北方华创
0023719.3115.81%124.88% 
                        - 中微公司
68801217.3114.23%86.84% 
                        - 沪硅产业
68812671.135.81%95.38% 
                        - 华海清科
6881206.134.34%96.16% 
                        - 南大光电
30034624.854.17%107.26% 
                        - 拓荆科技
6880726.004.01%95.28% 
                        - 长川科技
30060418.933.63%127.80% 
                        - TCL科技
000100156.033.41%100.00% 
                        - 中科飞测
6883618.293.15%100.00% 
                        - 鼎龙股份
30005427.513.11%100.00% 
                        
            - 股票名称持股数(万股)占净值比例较上期
 
                        - 中微公司
6880129.2715.03%-6.97% 
                        - 北方华创
0023714.1414.99%-6.76% 
                        - 沪硅产业
68812636.406.83%-7.07% 
                        - 华海清科
6881203.125.00%38.35% 
                        - 拓荆科技
6880723.074.38%-6.70% 
                        - 南大光电
30034611.994.19%-7.20% 
                        - 雅克科技
0024096.313.83%-6.79% 
                        - 长川科技
3006048.313.12%100.00% 
                        - 芯源微
6880373.522.88%100.00% 
                        - 立昂微
60535811.852.84%-7.20% 
                        
            - 股票名称持股数(万股)占净值比例较上期
 
                        - 北方华创
0023714.4415.24%-14.64% 
                        - 中微公司
6880129.9615.10%16.31% 
                        - 沪硅产业
68812639.185.81%19.08% 
                        - 华海清科
6881202.264.59%18.38% 
                        - 雅克科技
0024096.774.57%18.91% 
                        - 拓荆科技
6880723.294.25%45.03% 
                        - 南大光电
30034612.923.96%19.12% 
                        - 立昂微
60535812.773.17%新增 
                        - 鼎龙股份
30005412.252.98%新增 
                        - TCL科技
00010063.452.94%-11.82% 
                        
            - 股票名称持股数(万股)占净值比例较上期
 
                        - 北方华创
0023715.0917.63%--- 
                        - 中微公司
6880128.3414.11%--- 
                        - 沪硅产业
68812631.704.76%--- 
                        - 拓荆科技
6880721.813.87%--- 
                        - TCL科技
00010070.953.76%--- 
                        - 华海清科
6881201.843.64%--- 
                        - 石英股份
6036883.403.48%--- 
                        - 雅克科技
0024095.493.47%--- 
                        - 长川科技
3006048.383.19%--- 
                        - 南大光电
30034610.453.02%---