持仓明细
                - 股票名称价格占净值比例较上期
 
                    - 北方华创
002371---14.76%新增 
                    - 中微公司
688012---14.62%新增 
                    - 沪硅产业
688126---5.76%新增 
                    - 华海清科
688120---5.21%新增 
                    - 南大光电
300346---4.08%新增 
                    - 拓荆科技
688072---4.01%新增 
                    - 长川科技
300604---3.70%新增 
                    - 中科飞测
688361---3.52%新增 
                    - 安集科技
688019---3.32%新增 
                    - 芯源微
688037---3.21%新增 
                    
            - 股票名称持股数(万股)占净值比例较上期
 
                        - 北方华创
00237118.9316.37%-25.15% 
                        - 中微公司
68801235.1713.48%-25.14% 
                        - 沪硅产业
688126144.425.58%-25.19% 
                        - 华海清科
68812012.434.27%-25.31% 
                        - 拓荆科技
68807212.203.99%-25.16% 
                        - 南大光电
30034650.503.83%-25.15% 
                        - 长川科技
30060438.483.33%-25.14% 
                        - 鼎龙股份
30005455.873.32%-25.19% 
                        - 雅克科技
00240925.003.22%100.00% 
                        - TCL科技
000100316.772.93%-25.19% 
                        
            - 股票名称持股数(万股)占净值比例较上期
 
                        - 北方华创
00237125.2915.85%850.75% 
                        - 中微公司
68801246.9814.24%687.78% 
                        - 沪硅产业
688126193.065.82%722.62% 
                        - 华海清科
68812016.644.35%717.36% 
                        - 南大光电
30034667.474.17%771.80% 
                        - 拓荆科技
68807216.294.01%724.72% 
                        - 长川科技
30060451.403.64%860.75% 
                        - TCL科技
000100423.433.41%100.00% 
                        - 中科飞测
68836122.483.15%100.00% 
                        - 鼎龙股份
30005474.683.11%100.00% 
                        
            - 股票名称持股数(万股)占净值比例较上期
 
                        - 中微公司
6880125.9614.87%--- 
                        - 北方华创
0023712.6614.80%--- 
                        - 沪硅产业
68812623.476.77%--- 
                        - 华海清科
6881202.045.01%--- 
                        - 拓荆科技
6880721.984.33%--- 
                        - 南大光电
3003467.744.16%--- 
                        - 雅克科技
0024094.063.79%--- 
                        - 长川科技
3006045.353.08%--- 
                        - 芯源微
6880372.272.86%--- 
                        - 立昂微
6053587.652.81%---