持仓明细
                - 股票名称价格占净值比例较上期
 
                    - 北方华创
002371---14.77%新增 
                    - 中微公司
688012---14.65%新增 
                    - 沪硅产业
688126---5.76%新增 
                    - 华海清科
688120---5.21%新增 
                    - 南大光电
300346---4.08%新增 
                    - 拓荆科技
688072---4.02%新增 
                    - 长川科技
300604---3.70%新增 
                    - 中科飞测
688361---3.52%新增 
                    - 安集科技
688019---3.33%新增 
                    - 芯源微
688037---3.22%新增 
                    
            - 股票名称持股数(万股)占净值比例较上期
 
                        - 北方华创
0023714.9916.40%-15.42% 
                        - 中微公司
6880129.2513.48%-16.21% 
                        - 沪硅产业
68812638.005.58%-16.24% 
                        - 华海清科
6881203.264.26%-16.40% 
                        - 拓荆科技
6880723.203.98%-16.23% 
                        - 南大光电
30034613.283.82%-16.27% 
                        - 长川科技
30060410.123.33%-16.23% 
                        - 鼎龙股份
30005414.683.31%-16.31% 
                        - 雅克科技
0024096.553.21%100.00% 
                        - TCL科技
00010083.332.93%-16.25% 
                        
            - 股票名称持股数(万股)占净值比例较上期
 
                        - 北方华创
0023715.9015.73%16.83% 
                        - 中微公司
68801211.0414.24%-6.04% 
                        - 沪硅产业
68812645.375.82%-0.40% 
                        - 华海清科
6881203.904.34%4.01% 
                        - 南大光电
30034615.864.17%5.28% 
                        - 拓荆科技
6880723.824.00%-4.98% 
                        - 长川科技
30060412.083.63%16.04% 
                        - TCL科技
00010099.503.41%100.00% 
                        - 中科飞测
6883615.273.15%100.00% 
                        - 鼎龙股份
30005417.543.11%100.00% 
                        
            - 股票名称持股数(万股)占净值比例较上期
 
                        - 中微公司
68801211.7515.02%--- 
                        - 北方华创
0023715.0514.41%--- 
                        - 沪硅产业
68812645.556.74%--- 
                        - 华海清科
6881203.754.73%--- 
                        - 拓荆科技
6880724.024.51%--- 
                        - 南大光电
30034615.064.15%--- 
                        - 雅克科技
0024097.863.76%--- 
                        - 长川科技
30060410.413.08%--- 
                        - 芯源微
6880374.422.86%--- 
                        - 立昂微
60535814.982.82%---